气镇阀是旋片泵为抽除可凝性气体而设置的。通常情况下，真空泵抽除的气体多为永久性气体和可凝性气体的混合物。在压缩和排气过程中，当可凝性气体的分压超过该气体在泵温时的饱和蒸汽压时，可凝性气体将会凝结并混于泵油中，随泵油循环，并在返回高真空侧时重新蒸发变成蒸汽。这将影响到泵的抽气性能，加重泵油的污染程度。

气镇阀或称掺气阀可以有效地防止可凝性气体的凝结，即在压缩过程中将经过控制的永久性气体（通常为室温干燥空气）由气镇孔掺入被压缩气体中，使可凝性气体分压达到泵温时的饱和蒸汽压之前，压缩气体的压力已达到排气压力，排气阀打开，将可凝性气体同永久性气体一同排出。

油封式机械真空泵普遍装有气镇装置，因此也叫气镇泵。气镇阀（掺气阀）是由节流阀和逆止阀两部分组成。节流阀控制掺入气体量，逆止阀防止泵腔内气体压力高于掺气压力时出现返流。气镇孔的位置设置一般有两种：一种是开在泵排气口附近，当压缩腔与排气口相通时，开始掺气；另一种是设置于端盖上，当吸气终了以后，转子再转过一个角度（100-150）时，露出气镇孔，开始掺气。在掺气过程中，泵的极限压力上升，抽气速率下降。在低压时，适当打开气镇阀，掺入少量气体，可以减小&

真空泵的选择规则

⑴真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

⑵了解被抽气体成分，气体中是否含有可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

⑶真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

⑷正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

⑸真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染

影响真空泵真空度的因素多种多样，例如密封方式、配件间隙、材质好坏等等，本文主要分析润滑油对真空泵真空度的影响，因为油质的好坏也会影响真空泵的真空度

(1) 具有适当的粘度

油品粘度过小，润滑性满足不了要求，密封性也不好，粘度过大，内摩擦大，转子转动困难，动能消耗增大，油温也随着升高。油温升高会加速油品的氧化变质，尤其是对旋片式真空泵而言。

(2) 有较低的饱和蒸气压

油品的“蒸气压”指标低，才能在真空泵中低压高温的工作条件下不易蒸发，以保证得到所需要的真空度。

(3) 抗氧化安定性要好，使用中油品不易氧化变质。

一般真空泵选用的是真空泵油。目前国产真空泵油只有1号，是用天然原油，深度精制而成。在真空泵中起到润滑、密封作用。

(4) 良好的抗腐蚀性和抗乳化性

真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学反应，腐蚀泵内零件；吸入空气中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金属腐蚀，所以要求具有良好的抗腐蚀和抗乳化性。

(5) 较高的闪点

主要要求真空泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸气压。

1、真空泵油密封性

真空泵油需要适当的粘度，低温可使真空泵开始迅速，在高温真空泵油可以有良好的密封性能，在泵真空泵油温升低。不包含光挥发组分，减少真空泵的使用回油率。

2、真空泵油的饱和蒸汽压

饱和蒸汽压力的关键指标之一真空泵油。在封闭的容器在恒定的温度，蒸汽压力的压力时饱和蒸汽液体达到动态平衡。

饱和蒸汽压油应尽可能低，泵的最大工作温度，仍然有足够的低饱和蒸汽压，低于真空泵的极限压力。60摄氏度的温度至少达到6.5 x kPa的纯(由于20摄氏度的气温升高，饱和蒸汽压即将下降一个数量级)。

3、真空泵油， 极限总压强和的极限分压力

极限的总压力:皮拉尼真空计和热电偶真空计测量所有材料真空泵(气)总压强。目前，测试强调总压强指数。

极限的分压力:水星压缩真空计(麦克劳德压力计)限制空气测量泵压力，双旋转叶片泵压力应小于6 * 10-5kPa。总压强之间的区别和极限压力不超过一个数量级。两者之间的差异越大，真空泵油含有更多的挥发性成分，油的性质就越低。

(注意:极限压力和极限压力双级高真空泵测试)

4、真空泵油润滑性

摩擦磨损、表面疲劳磨损和腐蚀磨损等等，相关的润滑条件。真空泵油的良好性能，有利于抑制腐蚀和